Tên đề tài | Nghiên cứu chế tạo ống than nano (CNT) có kiểm soát theo quy trình chế tạo lỗ nano nhỏ hơn hặc bằng 20 nm, trên nền silic wafer. |
Năm thực hiện | 2015 |
Chủ nhiệm đề tài | TS Nguyễn Văn Cát Tiên |
Cơ quan chủ quản | Trung tâm nghiên cứu và triển khai, khu công nghệ cao |
Sản phẩm | - Đầu dò CNT-AFM |
Kết quả | - Chế tạo thành công Đầu dò CNT-AFM, Chi tiết trên bề mặt foil thép không gỉ bằng kỹ thuật SPL |