KS. Trần Đăng Giang

Trung tâm Nghiên cứu và Đào tạo Thiết kế Vi mạch

- Nghiên cứu thiết kế và chế tạo hoàn chỉnh bộ Mask theo kiểu dáng Việt Nam để chế tạo linh kiện QCM với tần số cộng hưởng 5 MHz nhằm hướng tới việc chế tạo linh kiện QCM với các tần số khác nhau.
- Nghiên cứu thiết kế và hoàn thiện toàn bộ quy trình và thực hiện chế tạo linh kiện QCM 5 MHz tại phòng sạch khu công nghệ cao TP.HCM (SHTP).
- Nghiên cứu hoàn thiện toàn bộ quá trình đóng gói linh kiện QCM 5 MHz chế tạo.
- Khảo sát và đánh giá chất lượng linh kiện QCM 5 MHz chế tạo.
- Lên phương án nhằm đưa quy trình chế tạo linh kiện QCM 5 MHz hướng tới sản xuất thử nghiệm với quy mô số lượng lớn và tạo tiền đề cho việc hướng tới chế tạo các linh kiện QCM với tần số lớn

- Thiết kế và chế tạo bộ mask với các thông số và kích thước riêng. Kích thước của linh kiện QCM nhỏ hơn, số lượng linh kiện trên 1 wafer nhiều hơn (28 linh kiện). Bộ Mask đã đáp ứng được các yêu cầu trong việc chế tạo linh kiện QCM tại phòng sạch SHTP.
- Đã thành công trong việc chế tạo liinh kiện QCM tần số 5 MHz bằng quy trình ăn mòn ướt. Linh kiện QCM chế tạo được có độ nét cao, tần số cộng hưởng 5 ± 0.01 MHz, đồ gồ ghề bề mặt 2 - 3 nm..