ThS. Ngô Võ Kế Thành
KS. Huỳnh Trọng Phát

Trung tâm Nghiên cứu và Đào tạo Thiết kế Vi mạch

Nhóm nghiên cứu đã thực hiện việc thiết kế, mô phỏng, chế tạo, đo đạc, đóng gói và ứng dụng thử nghiệm chip cảm biến áp suất kiểu tụ sử dụng các thiết bị hiện có tại Việt Nam.
Trong phần thiết kê – mô phỏng, nhóm đã sử dụng phần mềm Ansys kết hợp với Matlab để tính toán các thông số của chip cảm biến áp suất đảm bảo độ bền cơ và độ nhạy, cũng như thiết kế mạch đóng gói chip cảm biến. Từ các thông số thu được nhóm nghiên cứu đã lựa chọn cấu trúc hợp lý để chế tạo.
Phần chế tạo chip cảm biến được thực hiện bằng công nghệ vi cơ điện tử (MÉM) sử dụng các thiết bị phòng sạch tại SHTP. Nhóm đã thực hiện thành công việc chế tạo chop cảm biến áp suất với các ngưỡng áp suất làm việc và độ nhạy khác nhau.
Nhóm nghiên cứu đã phát triển lên thành mô đun cảm biến, và ứng dụng thành công trong việc đo chiều cao cột nước hướng tới sử dụng trong các thiết bị gia dụng như máy giặt, huyết áp kế, đo ngập lụt.

Mức độ ứng dụng: A1 Đề tài đã chế tạo thành công chip cảm biến áp suất theo công nghệ MEMS, đồng thời thiết kế bộ kit ứng dụng trong việc đo mực nước bằng thông số áp suất. Sản phẩm chip cảm biến áp suất có thể ứng dụng trong nhiều thiết bị dân dụng như máy giặt, thiết bị đo áp suất lốp xe v.v…
Hiệu quả kinh tế - xã hội: Sản phẩm chip cảm biến áp suất đã được Ủy ban nhân dân thành phố đưa vào danh sách các đề xuất đặt hàng Bộ Khoa học và Công nghệ và Ban chủ nhiệm Chương trình nghiên cứu, đào tạo và xây dựng hạ tầng kỹ thuật công nghệ cao (Theo công văn đặt hàng số 1854/UBND-CNN ngày 18/4/2013 của Ủy ban nhân dân thành phố về việc đề xuất đặt hàng dự án phát triển công nghệ cao tham gia Chương trình nghiên cứu, đào tạo và xây dựng hạ tầng kỹ thuật công nghệ cao). Dự án dự kiến triển khai trong năm 2014.