ThS. Trương Hữu Lý

Trung tâm nghiên cứu và Đào tạo Thiết kế Vi mạch

- Chip cảm biến gia tốc kiểu tụ điện: 10.
- Module cảm biến gia tốc: 02.
- Qui trình thiết kế và mô phỏng chip cảm biến gia tốc kiểu tụ điện.
- Công nghệ chế tạo chip cảm biến gia tốc kiểu tụ điện.
- 01 bài báo quốc tế.
- 01 bài báo trong nước.
- Đào tạo 02 sinh viên đại học và 01 Thạc sỹ cao học

- Lựa chọn được cấu trúc và công nghệ chế tạo Chip cảm biến gia tốc phù hợp với điều kiện cơ sở vật chất, thiết bị.
- Chương trình mô phỏng hoạt động cấu trúc chuyên dụng cho cảm biến gia tốc.
- Chương trình mô phỏng sự thay đổi về đặc tính điện khi có dải gia tốc đặt vào cấu trúc của cảm biến.
- Thiết kế tối ưu và chế tạo hoàn chỉnh bộ Mask cho quá trình chế tạo chip cảm biến gia tốc.
- Đưa ra qui trình chế tạo phù hợp và tối ưu đối với các trang thiết bị hiện có.
- Quy trình đóng gói và hình dạng bao gói cảm biến gia tốc.
- Thiết kế, chế tạo module cảm biến gia tốc, đưa ra các thông số về sự tương quan giữa gia tốc – tần số, gia tốc – điện áp.
- Kiểm tra độ tin cậy, độ tuyến tính, khảo sát sự ảnh hưởng của môi trường lên độ ổn định của cảm biến trong môi trường thực nghiệm

Kết quả đề tài ở mức quy mô phòng thí nghiệm, sẽ có thể đưa vào sản xuất thử nghiệm nếu tiếp tục được đầu tư hoàn thiện